부산테크노파크
장비현황
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청정실(클린룸) Clean-Room
- 시설장비등록번호
- NFEC-2010-12-129729
- 제작사명 모델명
- 신성이엔지 모델명 없음
- 표준분류
- 화합물전처리/분석장비 > 분리정제장비 > 여과기
※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)
설치장소 : 부산대학교 MEMS/NANO부품생산센터
장비문의 : 051-510-3948
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장비설명
- Yellow(100) White(1000) 온도 : ± 22 습도 : 45% 전력 : 총 1100kw(380V : 800kw 220V : 300kw) 건축면적 : 777m2 연 면 적 : 2050m2
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구성 및 성능