부산테크노파크
장비현황
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나노스펙 NANO SPEC
- 시설장비등록번호
- NFEC-2010-12-118019
- 제작사명 모델명
- 케이맥(K-MAC) ST-4000-DLX
- 표준분류
- 물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 위치/자세측정장비
※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)
설치장소 : 부산대학교 MEMS/NANO부품생산센터
장비문의 : 051-514-3906
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장비설명
- 구성및성능 - 측정 가능한 박막의 종류 : 실리콘 산화막 질화막 폴리실리콘 Posi/Nega 포토레지스트 3층 이하의 적층 박막에서 최상층박막 - 측정범위 : 100Å∼25um - 측정가능 패턴 사이즈 : 50um Diameter 이상의 Pattern - Lamp : 390∼800nm 대역의 텅스텐 Lamp(6V/15W) - Microscope & Objectives : 10X Objective . Up to 150mm Stage 150mm Standard Wafer
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구성 및 성능