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장비현황

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엑스 레이 X-ray

시설장비등록번호
NFEC-2022-07-280304
제작사명 모델명
GE Phoenix V|tome|x S240
표준분류
광학/전자영상장비 > 카메라/영상처리장비 > X-선/자외선/적외선카메라

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • 1. 핵심기능 • X-Ray Tube : Micro Tube, Nano Tube 2개로 구성 • 최소 검출 능력 : 0.5㎛ 이하, 2D/3D CT 측정(이미지화, 치수 측정) 가능 2. 상세사양 • X-Ray Tube : Micro 240kV이상, Nano 180kV 이상 • Detector : Total Pixel Area 12inch 이상, 해상도 4M Pixel 이하 • 구동부 : 5축 이상 구동, Tube Detector 거리 800mm 이상(충동방지장치 적용) • CT부 : 3D측정, 2D/3D 이미지 가시화, 3D 치수 측정 및 CAD 호환 가능

  • 구성 및 성능

    • 투과성을 가진 X-선을 이용한 3차원 단층영상(3D Computed Tomograph)으로 Sample 내부의 구조 및 불량을 디캡하지 않고 분석함. 파워반도체 소자 내부의 Delamination, 제품내부의 Voids, 반도체 package crack, die crack, bump size, PCB Via hole crack, dimension 등 다양한 제품의 내부를 비파괴로 검사 할 수 있음.
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