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장비현황

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표면단차측정기 Surface profiler

시설장비등록번호
NFEC-2011-01-139613
제작사명 모델명
ryokosha ET4000A
표준분류
물리적측정장비 > 길이/위치/자세측정장비 > 길이측정장비

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 부산대학교 MEMS/NANO부품생산센터

장비문의 : 051-514-3906

  • 장비설명

    • Surface profiler : Contact type으로 표면 단차 측정 Vertical scan length : ≥ 300um Max. scan length : ≥ 10mm Scan speed : ≤ 2um/sec. to ≥ 200um/sec. Sampling rate : 50 100 200 500 1000Hz Vertical range : 13um resolution ≤ 001Å 64um resolution ≤ 0.04Å Stylus force : 1 ~ 50mg Stage size : ~ 6

  • 구성 및 성능

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