스킵네비게이션

회원가입

장비현황

SNS 공유

현미경 Microscope

시설장비등록번호
NFEC-2021-01-267012
제작사명 모델명
Nikon BW-S505
표준분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 디지털현미경

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • ◯ 1pm(표시분해능), 10pm(실효분해능)의 측정가능 ◯ PIEZO MOTOR 적용으로 0~100um의 높이를 1um 단위로 측정 가능 ◯ 저배율부터 고배율의 간섭렌즈 채택 가능 ◯ 측정범위 90um의 측정 범위 ◯ 측정 범위 1nm급으로 실현

  • 구성 및 성능

    • 파워 반도체 소자의 구조, 형상 분석을 후 처리 작업 없이 고 정밀 측정 및 분석이 가능한 장비이다. 측정 Sample의 측정면을 접촉하지 않고, 표면 거칠기 값 구현이 가능하고, 단일 장비로서의 Database화하기 위한 고정밀 측정 및 표면 거칠기(surface roughness)를 2차원, 3차원으로 측정가능 하다. 광학현미경의 시야에서 1pm높이의 방향 분해능과 0.1nm급 초 평면 평균화 처리 및 필터 처리 없이 측정 가능하며, 저배율에서 고배율까지 같은 높이 분해능에서 측정 가능한 장비이다.
목록