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고성능(HEPA/ULPA)에어필터 성능평가 시험 시스템 Performance Evaluating system for HEPA/ULPA air Filter

시설장비등록번호
NFEC-2021-11-274543
제작사명 모델명
(주)에이알티플러스 HF-1711W
표준분류
기계가공/시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공/시험장비 > x

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 지능형기계부품센터

  • 장비설명

    • 입자발생장치 형태: 라스킨 노즐 시험 입자 : DOP 입자 : CMD 0.21 ~ 0.32 ㎛ σ 1.43 ~ 1.83 입자계수기 0.1㎛ 또는 0.12㎛ 이상을 측정할 수 있는 광산락식 자동입자 계수기 이송장치 ·필터 사이즈 : 610 x 610 mm ·송풍량 : 0.5 ~ 3.0 m/s (면속도) ·형태 : 사각 단면 덕트로 구성된 수평 직선형 풍동 ·길이 : 7m 이상 ·유량 토출부/유입부 : 고성능 필터 ·관측창 : 무정전 처리 수지 계열, LED 조명 장착 ·블로어 : 3phase, 380V, 30HP ·재질 : STS 304 혹은 이상의 전기적 전도체 ·피시험체 장착 : 덕트 이동 가이드 및 공압 실린더 적용 ·온습도센서: -40 ~ 80 ℃, 5 ~ 95%RH ·차압센서 : 0 ~ 1,000 Pa ·확산건조기: ~4 L/min ·청정공기인입기 : ~ 5 bar ·거치대 : 40 x 40 STS 304 ·제어 시스템 : 운영 프로그램 입자발생 장치 · 발생방식 : 라스킨 노즐 · 발생입자 : DOP, DEHS 입자측정장치 ·사이즈 : 0.2 ~ 9 μm, 0.25 ~ 17 μm, 0.6 ~ 40 μm ·수농도 : < 5x105 particles/cm³ ·샘플 유량 : 1.2 또는 5 L/min ·분해능 : 4, 8, 16 혹은 32 per decade · 측정 원리 : Optical light-scattering 입자희석장치 ·희석비 : 1:100 ·유량 : 1.2 L/min ·유량 제어 : 차압센서 수동조작 ·온도 : 0 to +40 °C ·압력 : ±50 mbar

  • 구성 및 성능

    • 첨단산업시설, 반도체 공정, 의료, 제약 및 식품 공정에 사용되는 고성능 에어필터제품 “고성능(HEPA/ULPA)에어필터 성능평가 시험 시스템”의 인증대상 품목인 “고성능에어필터(HEPA/ULPA)”의 표준시험규격 KACA001-2009, KS B 6740:2015에 적합한 시스템으로 구성함
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