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장비현황

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전계방출주사현미경 Field emission scanning microscope

시설장비등록번호
NFEC-2019-01-248437
제작사명 모델명
TESCAN, sro S8000
표준분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • ○ 장비 Type: 전계방출현미경(Field-Emission Scanning Electron Microscope) ○ 구성: FE-SEM, EDS 및 Metal Sputter Coater ○ Electron Gun: Schottky emission source ○ Resolution: ≤ 1.5nm @ 30kV ○ Accelerating Voltage: ≤ 50kV ○ Magnification: ≤ × 2,000,000 ○ Specimen stage: X= -65~100mm, Y = -65~65mm, Z= 0~100mm ○ Tilt: -60~90° ○ Rotation: 360° continuous ○ Energy Dispersive Spectrometer 포함

  • 구성 및 성능

    • 일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 고배율 50만 배 이상으로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구개발과 품질관리 향상에 필수적인 기기이다. 이 주사전자현미경(SEM)은 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 LCD로 영상을 표시하는 기능을 있다. 특히 이 장치의 경우 정전기 대물렌즈와 업그레이드 된 검출 시스템을 기반으로 Field-free 초고 해상도 영상을 산출하며 자기장이 샘플에 영향을 주지 않아 자기 샘플과 비자성 샘플 모두 고해상도 결과를 검출할 수 있다.
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