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장비현황

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입체 레이저 현미경 3D Laser Microscope

시설장비등록번호
NFEC-2020-04-262318
제작사명 모델명
Keyence VK-X1050
표준분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 공초점현미경

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 4공학관

  • 장비설명

    • 컨트롤러 - 관찰배율: 19,200배 이상(고배율 렌즈 기준) - 최소 시야 범위: 3600㎛ 이상(저배율 렌즈 기준) - 프레임 레이트(레이저 측정 속도): (면측정) 4~125㎐, (라인측정) 7900㎐ 이상 - 포커스베리에이션광학계(고속, 대면적 측정용) - 레이저공초점 광학계(핀 홀 공초점 방식, 고정밀도 측정용) 측정부 - 높이 측정용 프레임 메모리: 16 bit 이상 - 광량 프레임 메모리: 12 bit 이상 - 전동레볼버 - 측정 렌즈부: 2.5x, 5×, 10×, 20×, 50×, 100× (6개) - 전용 링조명: 2.5x, 5×, 10× (3개) - 리볼버상하 구동박식 : 스토로크 7mm, 내장리니어스케일분해능 5nm - 정확도: 측정값의 ±2% 이내 - 레이저 스폿 직경: 0.9㎛ 이하 높이 측정 - 표시분해능: 5㎚ 이하 - 반복 정도 σ: 20×기준: 40㎚ 이하, 50×기준: 20㎚ 이하 폭 측정 - 표시분해능: 10㎚ 이하 - 반복 정도 3σ: 20×기준: 100㎚ 이하, 50×기준: 50㎚ 이하 관찰 - 초고해상도(560만 화소) 컬러 CMOS 화상 - 포토멀티플라이어 16 bit 레이저 컬러 공초점 화상 - 공초점 +ND필터 광학계 - C-레이저 미분 간섭 화상 측정용 레이저 광원 - 파장: 적색 반도체 레이저 661nm(레이저안전규격 2등급) - 최대출력: 최대 1㎽ - 레이저 등급: 레이저 안전 규격 2등급 - 샘플 표면의 색 정보를 취득할 수 있는 백색 LED 광원도 함께 사용 스테이지 - 전동 XY 스테이지 : 100㎜ × 100㎜

  • 구성 및 성능

    • 광학현미경, SEM, 형상측정기, 표면거칠기측정기의 기능과 특징을 모두 갖춘 확대관찰형상 측정시스템으로, KEYENCE사의 VK-X1050(형상 측정 레이저 마이크로스코프)를 이용하여 대면적 측정가능한 입체레이저현미경입니다.
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