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테스터 Tester

시설장비등록번호
NFEC-2020-04-262099
제작사명 모델명
Keysight Technologies B1505A
표준분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • -­ High Voltage : 3kV -­ High Current : 500A ­- Measure Range : 0.1fA to 100A ­- Measure rasolution : 0.1fA ­- Source Range : 5mV to 10kV ­- High Voltage Mode : 3kV / 120mA ­- High Current Mode : 40V / 500A ­- IGBT , MOSFET , Capacitor , BJT , Resistor , Diode ­- Probe Station Integration system ○ 파워 소자 및 모듈의 경우, 인가되는 전압이 최소 650V/10A부터 1700V/200A 사이인 관계로 인하여, SiC MOSFET 소자의 경우 1200V/100A, 200A 이상의 전압 및 전류를 안정적으로 공급 가능한 장비가 필요하다.. ○ 고전압/고전류인 관계로 인하여, Probe Station 과 연계되어 측정이 이루어져야 한다.

  • 구성 및 성능

    • 소자특성 측정기는 파워 반도체 소자의 전기적 특성을 분석하는 장비로서 Sub-Picoamp 레벨에서 최대 10kV, 500A까지 광범위한 측정범위를 가지고 정밀한 µΩ 온저항(on-resistance) 측정과 10µs 고속 펄스 기능으로 전력 소자의 특성 분석이 가능하며 MOSFET, IGBT 및 GaN 및 SIC 같은 재료의 소자를 평가할 수 있는 장비이다. 본 장비는 커브 트레이서 기능을 탑재하여 디바이스 결함을 검출할 수 있어야 하며 고전압과 고전류에 의한 특성 분석을 위한 고출력용 프로브 스테이션과 연동하여 시험 수행이 가능해야 한다. 또한 테스트 픽스처의 크기나 모양에 관계없이 다양한 소자를 사용할 수 있어야 한다.
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