부산테크노파크
장비현황
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두께측정기 Thickness Check
- 시설장비등록번호
- NFEC-2019-01-248439
- 제작사명 모델명
- 엘립소테크놀러지 Elli-SEU
- 표준분류
- 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계
※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)
설치장소 : 파워반도체상용화센터
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장비설명
- ◦구성 : 메인바디, 소프트웨어, 컴퓨터 ◦광원 : 할로겐램프 ◦측정파장범위 :450nm~780nm ◦측정 막두께 범위 : 10nm~20um이하 ◦측정 소요 시간 : 10초 이내 ◦측정 Spot size : ◦측정 재현성 : ±0.5nm(@100nm) ◦반복성 : ±0.2nm(@100nm) ◦스테이지 : 200X200mm
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구성 및 성능
- 1. 반도체 웨이퍼 기판위에 증착된 박막의 두께및 굴절율을 측정하기 위한 장비 2. 광학적인 방법으로 측정. Sub Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께, 굴절율을 측정하는 장비임. 3. 박막 증착 진행시 공정 이상 유무를 확인하는 용도로 사용된다