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입자계수기 Particle Counter

시설장비등록번호
NFEC-2019-01-248446
제작사명 모델명
Kla-tencor CS10
표준분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • ○ 장비 Type : 파티클 검사 장비 ○ Wafer size : 6inch ○ Wafer Thickness : 350~1,100㎛ ○ Illumination Source : 25mW Laser, 405nm Wavelength ○ Performance Spec - Defect Sensitivity : 0.08 ㎛ diameter PSL sphere equivalent >95% Capture rate - Other Defect and Application : Particles, Scratches, Stains, Pits, and bumps ○ Application - Opaque Substrates - EPI Layer - Transparent film coatings(SiC, GaN, Sapphire)

  • 구성 및 성능

    • ○ 기판 표면상태 측정에 이용되는 장비로 반도체 소자 공정상의 최대 불량요인인 Particle 발생원인 및 이로 인한 불량 추이들을 Monitoring 하기 위해 활용되며 불량요인 추적 및 분석에 활용되는 장비
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