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장비현황

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정전기 내성 방전기 Electricstatic Discharge

시설장비등록번호
NFEC-2021-01-267011
제작사명 모델명
Thermo Fisher Scientific MK 1TE
표준분류
기계가공/시험장비 > 재료물성시험장비 > 특성평가시험기

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • - 시험 핀수 : 256pin 이하 - Multi Socket Testing: 4 sockets 이상 동시에 정전기 pulse 인가 시험 가능 (핀 수에 따라 상이) - Relay-Based Operations - Ground system - 시험 전압 범위:　 1) HBM : ± 10V ~ ± 8,000V (1V step) 2) MM : ± 10 ~ ± 1,000V (1V step) 3) Latch up : 100V, 2A per Pin - 자동 파형 캡쳐 및 분석 가능 - 시험결과 I-V curve 등의 측정 데이터는 기록되고 데이터 제공

  • 구성 및 성능

    • - 정전기 내성 방전기(ESD)는 관련 국제 규격에 의거 각종 반도체를 비롯한 부품 단계에서 ESD(정전기 방전) 현상에 의한 제품들의 내성을 평가 검증하여 반도체 부품의 신뢰성을 보증하기 위한 시험 장비이다. - 전력 반도체 일종인 MOSFET, IGBT 및 GaN, SiC 같은 재료 소자의 전기적 특성 중 정전기 및 과도전압/전류를 인가하여 상기의 소재의 정전기에 대한 내성을 평가한다. 또한 장비 자체에 시험 진행 도중에 전기적 특성을 측정할 수 있는 기능을 가지고 있어 정전기 및 과도전압/전류를 인가 전/후에 기본적인 전기적 특성 파라메타를 측정하여 정전기 시험 전/후 소재의 특성 변화를 측정할 수 있다.
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