부산테크노파크
장비현황
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고분해능 전계방출형 주사전자현미경(본체) High-Resolution Field-Emission Scanning Electron Microscope
- 제작사명 모델명
- 표준분류
- 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
설치장소 : 부산테크노파크 우주항공소재센터 화재시험동
장비문의 : 051-831-7859
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장비설명
- • 전자빔을 시료 표면에 주사하여 발생되는 2차 전자와 후방산란 전자를 수집하여 시편의 형상, 표면의 모폴로지, 조성 및 결정성을 나노 수준으로 분석하는 연구장비
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구성 및 성능
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• 전자빔을 시료 표면에 주사하여 발생되는 2차 전자와 후방산란 전자를 수집하여 시편의 형상, 표면의 모폴로지 및 조성을 나노 수준으로 분석하는 연구장비
• Resolution : 1.2 nm @30 kV, 3.0 nm @1 kV
• Magnification : ×30 ~ ×1,500,000
• Accelerating voltage : (0.5 ~ 30) kV
• Specimen stage : 5-axis motorized stage
• Specimen size : max. 200 mm(Ø), 80 mm(H)
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• 전자빔을 시료 표면에 주사하여 발생되는 2차 전자와 후방산란 전자를 수집하여 시편의 형상, 표면의 모폴로지 및 조성을 나노 수준으로 분석하는 연구장비