부산테크노파크
장비현황
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고분해능 전계방출형 주사전자현미경 부대장비 High-Resolution Field-Emission Scanning Electron Microscope, Electron Backscatter Diffraction and Energy Dispersive X-ray Spectrometer
- 제작사명 모델명
- 표준분류
- 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
설치장소 : 부산테크노파크 우주항공소재센터 화재시험동
장비문의 : 051-831-7859
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장비설명
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전자후방산란회절장치(EBSD)
• 시료의 회절 패턴을 이용하여 결정상과 결정방위를 해석하는 연구장비
에너지 분산형 X선 분광기(EDS)
• Ｘ선을 이용하여 시료의 구조 및 화학조성을 분석하는 연구장비
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전자후방산란회절장치(EBSD)
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구성 및 성능
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• 전자후방산란회절장치(EBSD)
- 시료의 회절 패턴을 이용하여 결정상과 결정방위를 해석하는 연구장비
- Camera speed : 1,400 patterns per second(pps)
- Pixel resolution : 640(H) × 480(V) × 12 bit
- Sensitivity : 5 kV, 100 pA
- Orientation precision : < 0.1°
• 에너지 분산형 X선 분광기(EDS)
- Ｘ선을 이용하여 시료의 구조 및 화학조성을 분석하는 연구장비
- Energy resolution : 127 eV @ MnKα
- Detecting element range : 4Be ~ 94Pu
- Active area : 50 mm2
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• 전자후방산란회절장치(EBSD)