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장비현황

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면저항측정기 Sheet resistance measurment

시설장비등록번호
NFEC-2018-12-247918
제작사명 모델명
에이아이티 CMT-SR2000N
표준분류
전기/전자장비 > 측정시험장비 > 다기능임피던스측정시험장비

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체동

  • 장비설명

    • 1. 측정범위 : 1 mΩ/sq - 2 MΩ/sq 2. 측정단위 : ohm, ohm/sq, ohm.cm & S(두께입력) 3. Sample size : Max 200mm 4. JANDEL 4-Point Probe Head 5. 전원 : 220V, 60Hz 6. Auto / Manual & Single / Dual 선택가능 7. 온도보정을 위한 온도센서 내장 8. 장비 단독측정(Stand-alone) 및 PC를 이용한 Full remote control 측정 및 분석 기능. 9. X,Y,Z-Axis automatic system (Auto scanning) 10. Wafer 고정용 Vacuum port(4mm) 내장 11. Electronic accuracy: ±0.5% (Precision resistor) 12. Software : System operating(Windows Version), Data analysis

  • 구성 및 성능

    • CMT-SR2000N 은 전자동으로 8 inch (200mm) wafer 또는 sample 의 표면저항을 측정할 수 있는 측정기입니다. 이 장비는 전용 PC 를 이용하여 원격제어에 의한 측정이 가능하며, 측정한 Data 를 분석할 수 있는 기능을 제공합니다
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