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장비현황

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집속 이온빔 장치 Focused Ion Beam

시설장비등록번호
NFEC-2023-06-288447
제작사명 모델명
TESCAN SOLARIS X
표준분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 파워반도체상용화센터

  • 장비설명

    • • Source : 제논 플라즈마 • Beam Current : Up to 3uA or fs laser <350fs • SEM 분해능 : 0.7nm at 15keV or less 1.2nm at 1keV or less • SEM 가속전압 : 200eV to 30keV or wider • Stage Movement : X = 100mm or wider Y = 100mm or wider Z = 30mm or wider T = –15° to 70° or wider R = 360° continues

  • 구성 및 성능

    • - Ion Column 혹은 Laser를 주사전자현미경에 부착하여 시료의 원하는 관심 부위를 SEM으로 관찰하며, Xe-Ion Beam 혹은 Laser로 시료의 defect 및 관심 영역을 밀링하여 분석하는 장비임
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