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장비현황

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환경주사전자현미경 EnvironmentalScanning Electron Microscopy

시설장비등록번호
NFEC-2020-02-260927
제작사명 모델명
Thermo Fisher Scientific Quattro S
표준분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)

설치장소 : 부경대학교용당캠퍼스 4공학관

  • 장비설명

    • ㅇ Electron Optic - Source type : Schottky field emitter - High-vacuum mode : 0.8nm at 30kW / 3.0nm at 1kW - Low-vacuum mode : 1.3nm at 30kW / 3.0nm at 3kW ㅇ Stage : X=110mm / Y=110mm / Z=65mm / T = -15°~ + 90° / R=360° ㅇ Detectors - Everhart-Thornley Secondary electron detector - In-Column Detector SE/BSE - Retractable Back-scattered Detector - Environment SEM Gaseous Analytical Detector - Pegasus Integrated EDS-EBSD with Octane Elite Super - EDX Particle Phase Analysis Software ㅇ Cryogenic stage : -190℃ (Cryo MAT) ㅇ Heating stage : +1,400℃ (300℃/min)

  • 구성 및 성능

    • 극한환경용 도장과 표면처리, 부방식 제어를 위해 기계·물리·화학적 조성으로 이루어진 시료의 다양한 진공상태(6e-4 ~ 4,000Pa) 및 온도(-190~+1,400℃) 변화를 통한 시료 특성 변화 관찰 및 측정분석 해석을 위한 장비
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