부산테크노파크
장비현황
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프로브 Probe
- 시설장비등록번호
- NFEC-2020-04-262074
- 제작사명 모델명
- Star Technologies VSM300
- 표준분류
- 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)
설치장소 : (재)부산테크노파크 파워반도체상용화센터
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장비설명
- - Max Voltage : 10kV - Max Current : 600A - High Current Positioner - High Voltage Positioner - Wafer 6“ - Chuck Resolution : ~ 0.5um - Temperature range : -55℃ to 300℃ - Probe tips : tungsten / 0.5um - Semi Auto Probe System - Chuck isolation > 100GΩ - Drivers Software : ACS Software - Tester Integration system ○ 프로브 스테이션은 고압과 고전류에 의해 측정자의 안정을 고려하여 측정 시편을 세미 오토로 측정하는 장비 ○ Wafer Scale 및 Module 이 정상 동작 여부를 파악할 수 있는 장비로써, I-V & C-V 값을 측정할 수 있으면, 고효율 SiC MOSFET / IGBT, SBD 등 파워반도체 소자의 핵심 측정 장비 ○ 스테이션까지 이송하는 장비가 부착되고, 또한 척의 온도를 최고 300℃최고까지 올려서, 측정함으로써, Chip 상태의 신뢰성 특성을 확인할 수 있는 기능을 포함할 수 있다.
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구성 및 성능
- 프로브 스테이션은 파워 반도체 소자의 전기적 특성을 분석하기 위해 8” 웨이퍼 얼라인먼트와 세미오토 프로빙을 위한 장비로서 소자특성 측정기와 연동하여 Sub-Picoamp 레벨에서 최대 10KV, 600A까지 광범위한 측정범위를 가지고 정밀한 스텝핑 정밀도와 -60°C 에서 300°C 까지의 넓은 온도영역에서 저온 및 고온에서의 전력 소자특성 분석이 가능하며 MOSFET, IGBT 및 GaN 및 SIC 같은 재료의 소자를 평가할 수 있는 장비이다.