부산테크노파크
장비현황
SNS 공유
집속 이온빔 장치 Focused Ion Beam
- 시설장비등록번호
- NFEC-2023-06-288447
- 제작사명 모델명
- TESCAN SOLARIS X
- 표준분류
- 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
※ 정보출처 : ZEUS 장비활용종합포털(www.zeus.go.kr, T.1670-0925)
설치장소 : 파워반도체상용화센터 (재)부산테크노파크
장비문의 : 051-583-3906
-
장비설명
-
• Source :• Source : 제논 플라즈마
• Beam Current : Up to 3uA or fs laser <350fs
• SEM 분해능 : 0.7nm at 15keV or less
1.2nm at 1keV or less
• SEM 가속전압 : 200eV to 30keV or wider
• Stage Movement : X = 100mm or wider
Y = 100mm or wider
Z = 30mm or wider
T = –15° to 70° or wider
R = 360° continues
-
• Source :• Source : 제논 플라즈마
-
구성 및 성능
- - Ion Column 혹은 Laser를 주사전자현미경에 부착하여 시료의 원하는 관심 부위를 SEM으로 관찰하며, Xe-Ion Beam 혹은 Laser로 시료의 defect 및 관심 영역을 밀링하여 분석하는 장비임